반도체 소재 부문의 독일 기업 ZEISS 코리아 (대표이사: 정현석)가 오는 2월 1일부터 3일까지 개최하는 ‘세미콘 코리아 2023’에 참가해 다양한 솔루션을 선보인다고 27일 밝혔다. ZEISS 코리아는 설립자인 Carl Zeiss(칼 자이스)의 현미경부터 시작된 176년 역사를 가진 독일 대표 광학기업으로, 반도체 분야에서 주목을 받고 있는 ASML EUV(극자외선) 리소그래피의 핵심 부품인 EUV 광학렌즈 모듈 및 다양한 솔루션을 보유하고 있다.
국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최하는 글로벌 반도체 산업 전시회인 ‘세미콘 코리아 2023’는 매년 반도체 산업의 성장과 최신 반도체 제조 기술 등 다양한 반도체 산업의 변화와 주요 기업의 새로운 기술을 확인할 수 있는 자리이다.
이번 ‘세미콘 코리아 2023’에서 ZEISS 코리아는 반도체 마스크 사업부(SMS)의 최신 EUV 기술에 활용되는 포토마스크 솔루션으로 액티닉 마스크 측정시스템인 ‘AIMS(Aerial Imaging Measurement System) EUV’, 반도체 프로세스 컨트롤 사업부(PCS)의 ‘3D Tomography(단층촬영) 계측장비’를 선보일 예정이다. AIMS EUV는 입증된 Aerial Image(영역 이미지) 기술을 사용해 EUV 포토마스크를 검증하고 EUV AutoAnalysis 소프트웨어 패키지를 지원해 이미지 분석 및 데이터 처리 자동화의 성능 개선을 돕는다. 3D Tomography 계측장비는 FIB(집속 이온 빔)로 제작한 각각 단층을 SEM(주사전자 현미경)으로 이미징 하여 3차원으로 재조합하고, 재조합한 이미지로부터 반도체 패턴의 나노미터 정확도의 샘플링, 분석, 측정 및 검증을 지원한다. 현미경 사업부(RMS)에서는 다양한 활용이 가능한 고해상도 이미징과 특성화를 위한 주사전자 현미경인 ‘ZEISS GeminiSEM’, 첨단 반도체 소재 및 패키징의 3D 분석과 샘플을 제공할 수 있는 ‘ZEISS Crossbeam’을 소개할 예정이다. 이외에도 품질 솔루션 사업부 (IQS)의 3차원 X-ray CT 장비인 ‘ZEISS Metrotom’ 장비도 함께 소개한다.
세미콘 코리아 2023 행사를 앞둔 ZEISS 코리아의 정현석 대표는 “ZEISS는 반도체 산업에 필요한 다양한 솔루션을 제공하는 기업으로, 이번 행사를 통해 한국의 다양한 고객사와 더욱 돈독한 파트너십을 구축할 것”이라고 말했다.
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