EUV 도입 규제 등 반도체 생산 '가스안전분야' 규제 11건 혁신

[스마트시티투데이]

산업통상자원부는 반도체 초강대국 달성을 위해 반도체산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신과제(11건)를 선정하고 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선하여 기업부담을 완화할 계획이다. 

산업부는 그동안 반도체 산업을 지원하고, 디플루오로메탄(CH2F2, 반도체 식각용), 삼불화붕소(BF3, 반도체 도핑용) 가스 등 반도체 제조 용도의 수입 산업가스 수급안정을 위하여 ‘검사생략 고압용기의 해외 반송기한’을 6개월에서 최대 2년으로 연장하는 등 지속적으로 규제를 발굴·개선해 왔다.

특히, 이번에 선정된 11개 규제는 규제 개선시 국내 반도체산업의 글로벌 경쟁력을 한층 더 높일 수 있는 과제로, 반도체관련 단체 및 기업과의 간담회·현장방문 등을 통하여 도출됐다.

산업부는 금년 6월부터 반도체기업 및 유관협회에 대한 의견수렴과 간담회 등을 통해 반도체 제조공정에 쓰이는 수소를 포함한 고압가스의 안전규제에 대하여 다양한 개선과제를 발굴했으며, 이 중, 안전성이 확보되면서도 기업 활동을 촉진할 수 있는 고압가스 관련 반도체 생산장비 및 저장설비 등에 대한 7개 과제를 전문가 검토 등을 거쳐 신속히 개선해 나갈 계획이다.

■ 방호벽
(현행) 반도체공장은 바닥면이 얇은 경량화된 복층건물구조로, 깊이 묻어야 하는 기존 ①방호벽 지주의 고정방법으로는 지주설치가 곤란하고, ②방호벽도 두꺼운 콘크리트재질만 설치가능하여 공장 증설에 어려움이 있었다.

(개선) 가스상세기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우에는, 케미컬앵커 등 ①다양한 지주설치방법을 허용하고, ②방호벽도 기존 방호벽의 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용하도록 기준을 마련하여 반도체 공장의 공간 활용을 증대시킬 예정이다.

▶공장내부의 용기보관(저장용 실린더캐비닛) 기준 개선
(현행) 저장용 실린더캐비닛은 공장내부에 설치 시 설치장소의 지붕을 가벼운 불연재료로만 사용해야 하므로 복층으로 공장증설時 가벼운 지붕은 상층의 바닥이 되어 하중을 견디기 어려워 동 캐비닛을 공장에 설치하기 곤란했다.

(개선) 전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성을 검증 후 지붕을 가벼운 불연재료로 사용하도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준을 마련하여 반도체공장의 복층 증설을 용이하도록 할 예정이다.

박일준 2차관은 “반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 금번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다”고 강조하고, “앞으로도 반도체산업 뿐만 아니라 에너지분야 안전과 관련된 타 산업에서도 안전 확보와 산업 발전의 균형을 도모하는 규제혁신과제를 지속적으로 발굴하여 기업경쟁력이 강화되도록 지원해 나가겠다”고 밝혔다.